DLC——
类金刚石涂层(Diamond-like Carbon)是含有金刚石结构(sp3键)和石墨结构(sp2键)的亚稳非晶态物质,碳原子主要以sp3和sp2杂化键结合。
类金刚石涂层或简称DLC涂层是一种非晶态膜,基本上可分为含氢类金刚石(a-C:H)涂层和无氢类金刚石涂层两种。含氢DLC涂层中的氢含量在20at.% ~ 50at.%之间,sp3成分小于70%。无氢DLC涂层中常见的是四面体非晶碳(ta-C)膜。ta-C涂层中以sp3键为主,sp3含量一般高于70%。
不同种类的类金刚石涂层的共同点是碳原子在空间结构上长程无序自然界中碳有两种存在形式:金刚石和石墨。在金刚石结构中,每个碳原子都以sp3杂化轨道与另外四个碳原子形成共价键,形成一个正四面体,所有价电子参与形成共价键,无自由电子。
石墨结构中的每个碳原子外层电子以sp2杂化轨道和相邻的三个碳原子形成共价键并排列成六角平面的网状结构,这些网状结构又构成互相平行的片层结构,每个碳原子还剩下一个电子目前世界上有各种各样的DLC涂层(类金刚石涂层)的制备方法,所得到的DLC涂层(类金刚石涂层)的成份,性能及适用范围有着相当大的差别。 |